在济南槐荫经济开发区坐落着一家“12岁”的企业——山东力冠微电子装备有限公司（以下简称“力冠”），它从“零”起步，如今，已经成长为一家集研发、生产、销售为一体的半导体工艺设备企业，彻底打破了国外的技术垄断，成为国内半导体材料工艺设备制造头部企业。

一走进力冠，笔者就被一面满满当当的荣誉墙震惊到了：高新技术企业、创新型企业、专精特新企业、瞪羚企业、中国电子专用设备工业协会会员、第三代半导体产业技术创新战略联盟评为副理事长单位……掌握了集成电路前道工艺装备的核心技术，并拥有完全自主知识产权，加之槐荫在半导体产业领域倾注的诸多资源与努力，共同构筑了力冠赢得诸多荣誉的坚实底气。

而在微电子领域深耕多年的力冠技术负责人宋德鹏，在力冠的快速成长中功不可没。

1．您认为您是凭借哪些优势成功获评了第十四批济南专业技术拔尖人才称号？

我认为，这一荣誉主要得益于力冠给了我成长的平台以及我在微电子装备领域的深厚技术积累和显著成果。

槐荫依托资源禀赋打造了以医养健康、先进材料、智能制造三大产业为主导，新一代信息技术、文化旅游、商务会展、汽车消费四大产业为特色，现代物流、现代金融两大产业为支撑的“342”现代化产业体系，力冠则乘着行业和槐荫发展的东风，不断走向更广阔的舞台。而我，也始终伴随着力冠的成长而不断前行。

我专注于解决国内集成电路装备“卡脖子”技术，从事集成电路前道工艺装备研发工作近20年。在此期间，我主持研发了第一代至第四代多款集成电路前道工艺装备，达到国际先进水平，实现了国产化替代。例如，在氢化物气相外延设备（HVPE）项目中，我带领团队攻克了基于导体半导体互相切换的加热控温技术，开发了单晶生长保护装置和自动化控制系统，生长周期从12 h／片大幅缩短至2h／片，突破了半导体单晶材料装备关键共性技术，实现了国产化替代，并获得了1项发明专利。如今，这款产品已经在国内占据95％的市场，并出口远销韩国、新加坡等地区。

同时，我还积极参与学术交流和技术合作，通过与半导体领域知名高校、院所共同攻关科研项目，开展团队培养和平台建设，培育持续创新能力。到现在为止，我已获得22项授权专利，参与制定了1项国家标准、2项团体标准，发表了1篇中文核心期刊论文，始终走在技术研发和产品创新的前沿。

2．第十四批济南专业技术拔尖人才的获评，对您个人和力冠未来的发展意味着什么？

首先，是对我个人专业能力和成就的高度认可，有助于我在专业领域获得更多的资源和发展机会，参与更多的学术交流和科研项目。同时，这也是对力冠在微电子装备领域技术创新和成果转化的认可。这一荣誉将进一步提升我们公司的知名度和影响力，帮助我们吸引更多优秀人才，争取更多政策支持和市场机遇，共同推动公司的快速发展。

3．作为第十四批济南专业技术拔尖人才，您对自身的发展有什么目标？对槐荫的发展有什么样的期许？

当初选择来到槐荫发展，正是看中了槐荫在人才引进、科技创新和产业发展方面采取的一系列有力举措，以及其营造的宽松便捷、优质高效的营商环境，让我们看到了在这里长期发展的潜力。现在看来，这一选择无疑是正确的。槐荫通过优化人才政策、搭建创新平台等措施，吸引了大量高端人才和创新资源聚集，对我们招揽人才、组建研发团队大有裨益。此外，济南槐荫经济开发区的半导体及其应用产业已成长为四大优势产业之一，其厂房配置也与我们高度契合。槐荫还加大了对半导体等战略性新兴产业的支持力度，为我们公司提供了广阔的市场空间和良好的发展环境。未来，我希望槐荫能够持续优化人才和创新环境，吸引更多高端人才和创新资源聚集，推动产业转型升级和高质量发展。

作为第十四批济南专业技术拔尖人才，我对未来也充满了信心和期待。我将继续深耕半导体装备领域，不断提升自己的技术水平和创新能力，带领团队在半导体装备领域取得更多的技术突破和创新成果。未来3年，我和我的团队将继续专注于集成电路前道工艺装备、化合物晶体装备的研发，提升设备的稳定性和可控性，推动企业不断扩大市场份额，提高产品的国际竞争力，将企业打造成国际领先的半导体装备制造商，引领行业发展。

（来源：槐荫区融媒体中心）