从“零”起步到成长为国内半导体材料工艺设备制造头部企业，需要多长时间？山东力冠微电子装备有限公司（以下简称力冠微电子）的回答是：11年。

它是如何做到的？

立足自主研发  打破国外垄断

如果用一个词来形容力冠微电子的生产车间，那就是安静、干净，这里既没有嘈杂的噪声，也没有漫天飞舞的尘土。洁净的厂房里，一台台晶体生长炉正在被一点一点组装完成，并发往全球各地。

“这是我们自主研发的HVPE单晶生长设备，拥有完全自主知识产权。”董事长孙军伟介绍道。

这家创立到现在还只有11年的年轻公司，从一开始就瞄准半导体材料工艺装备行业。说起跨入这一行业的初衷，孙军伟直言：“当时，全世界做先进半导体炉管类设备最好的两家公司都在日本，我们就是希望能给中国做出同样高品质、高水准的半导体设备。”

创业初期，孙军伟和团队面临很多摆在眼前的问题。资金短缺、人才短缺、急需的设备仪器受制于西方国家……靠着一股韧劲，他们一个问题一个问题击破。

在一路钻研探索的过程中，力冠微电子不断发展、成长，如今成为一家集研发、生产、销售为一体的半导体材料工艺装备制造商，研发团队年年都在壮大，目前已经成立9个实验室，聘请多名来自台湾的知名专家，同时，年均研发投入费用占到了利润的35%左右。放眼国内，如此大手笔地搞研发，并不多见。

目前，力冠微电子的产品已经涵盖第一代至第四代半导体材料工艺装备，可提供完整的材料工艺包，主要代表产品有PVT单晶生长设备、HVPE单晶生长设备、8寸/12寸立式氧化扩散设备、SiC高温氧化/退火设备等系列产品，均拥有自主知识产权，完全自主可控，已通过授权专利30余个。“我们全套生产工艺的稳定性、均匀性均达到国际领先水准，彻底打破了以美日等国外企业为主的技术垄断，实现了真正国产替代。”

以品质产品及服务  赢得口碑和市场

晶体生长设备是半导体产业上游的“起点”设备，生长的晶体品质对芯片制造及下游应用具有重要决定作用。

“品质是我们最好的出路。力冠不仅仅是装备公司，更要为客户提供最好的技术服务。”孙军伟反复强调，做产品就是做品质，就是要真正站在客户的角度上、帮助客户解决他们的生产良率，要把核心放在如何替这个行业解决一些“卡脖子”的问题。

自成立以来，力冠微电子就致力于以创新技术、产品及解决方案赋能客户实现高质量发展，始终将高质量作为产品生产第一标准，不断通过研发完善改进自身产品品质，以优良的质量、稳定的性能赢得广大客户的青睐与支持。如今部分拳头产品已经在国内占据95%的市场，并出口远销台湾、韩国、新加坡等地区，公司也先后被评为高新技术企业、创新型企业、专精特新企业，瞪羚企业，中国电子专用设备工业协会会员、第三代半导体产业技术创新战略联盟评为副理事长单位、全国人工晶体标准化技术委员会委员，中国创新创业大赛·国际第三代半导体专业赛优胜奖……

此外，以科学技术作为第一生产力，与国内各知名研究院所、国内知名半导体企业及知名高校保持密切合作，专注于硅基工艺及化合物材料的研发，加快装备国产化的需求与进程，助力中国半导体产业高质量发展。

对于未来发展，孙军伟充满信心。“随着5G、物联网、人工智能等技术的快速发展，半导体产业将继续保持高速增长态势。”她表示，在这一大环境下，力冠微电子将立足企业实际，通过技术创新，不断提高产品性能和市场竞争力，让中国高端装备制造走向世界。

迎着行业的东风，力冠微电子正在走向更广阔的舞台。（郇家娟）